高端裝備精度難突破？格藍若主動減振+精密運動控制給出新答案|SEMICONChina2026

GLORYROAD

主動減振

運動控制

格藍若亮相SEMICON China 2026

前言

SEMICON China 2026將于3月25日至27日在上海新國際博覽中心舉行，是全球半導體行業的重要展會之一。格藍若精密將攜十余款核心產品及多套行業應用解決方案亮相，誠邀您蒞臨展位，共話半導體“芯”機遇。

武漢格藍若精密技術有限公司作為國內領先的半導體高端裝備分系統專業解決方案供應商，始終致力于高性能主動減振系統與精密運動控制系統的技術研發與創新應用。本次重點展品涵蓋磁浮型、真空型、一體式平臺等主動減振系列產品，以及納米精度運動控制、高性能通用型運動控制系列產品。相關成果廣泛應用于半導體設備、高端超精密裝備、精密加工機床、高端電鏡、航空航天等領域，性能指標位于國際領先水平。

破解微振動難題！

主動減振技術如何撐起高端制造？

01

在半導體制造、顯微成像、精密光學裝備等高端前沿領域，環境微振動已成為制約裝備精度提升的核心瓶頸。傳統被動隔振技術難以應對全頻段、多類型的振動干擾，亟須具備寬頻帶響應、自適應控制能力的主動減振方案。

主動減振是一種通過控制能量反饋，對振動進行實時抵消與精準抑制的先進技術。其核心原理為：實時監測環境與設備振動，由控制器快速運算并輸出控制指令，驅動執行器施加反向作用力或補償運動，從而動態平衡振動能量、抑制擾動傳遞。相較于傳統被動隔振技術，主動減振不僅可高效消除低頻振動干擾，還能通過實時自適應調整控制策略，有效規避系統共振風險，具備更優異的環境適應性與穩定性。

基于對不同應用場景振動特征與設備需求的分析，格藍若精密開發了7個系列、60余款主動減振產品，廣泛應用于國內外市場，技術性能達到同類產品全球先進水平。

SFV系列真空型主動減振器

SFV系列真空型主動減振器垂向以空氣彈簧并聯磁負剛度機構作為主支撐，水平方向以負剛度機構與正剛度機構并聯，配合垂向和水平向的主動振動控制及精密定位控制，實現6自由度高性能主動減振和穩姿，在先進制造領域，可滿足14nm及以上關鍵工藝制程設備的減振需求。

PAD一體式平臺系列

PAD系列主動減振為一體式隔振平臺，結合系統內部被動隔振體與配合垂向和水平向的主動振動控制，實現6自由度高性能主動減振，可選配精密定位控制功能。可以滿足各類電子顯微鏡與精密光學儀器的高性能減振要求，產品范圍覆蓋桌面級與大尺寸級別不同隔振需求。

SMT系列磁浮式主動減振器

磁浮式主動減振器采用非接觸磁懸浮支撐與實時主動控制相結合的高端隔振技術，以無機械摩擦、無磨損、無滯后的方式，從源頭抵消低頻與中頻環境擾動。相較于傳統被動隔振與機械接觸式主動減振，它擁有更快的響應速度，更高的運行穩定性，同時具備寬頻控制能力等優勢，可在真空、潔凈、超精密場景下長期可靠運行，全面保障半導體設備、電子顯微鏡、精密光學系統的核心測量與運動精度。

高端制造升級，

國產精密運動控制系統新選擇

02

格藍若精密運動控制專注于為高精度、高實時性工業場景提供核心運動控制解決方案。產品矩陣覆蓋驅控一體運動控制器、獨立式運動控制器、高性能總線驅動器，配套數字量/模擬量IO，激光控制接口等模塊全套運動控制解決方案，可全面適配從通用自動化到激光加工、從半導體到精密機床等超精密領域的需求，助力客戶實現設備性能提升、產線升級與國產替代。

精密運動控制產品矩陣

產品核心特點

01

測量系統切換

適配單軸多測量系統應用，支持多反饋源切換，大幅提升設備在復雜工況下的適應性與可靠性。

02

多軸協同控制

實現多傳感器、多執行器、多自由度系統的精準協同控制，穩定適配ZTT等復雜多軸應用。

03

自適應抗干擾

有效抑制外部干擾，確保運動軌跡與定位精度全程穩定，在復雜工況下仍保持高一致性控制性能。

04

敏捷伺服技術

強化動態響應性能，大幅提升跟蹤精度與實時性，滿足高速高精度運動控制場景。

05

精密驅動控制

采用高精度脈沖調制技術，實現電機電流連續、平滑輸出，有效抑制機械振動，提升低速運行平穩性與定位精度，讓設備運行更安靜、更穩定。

06

龍門控制

支持雙回路龍門、主從軸跟隨等多輸入多輸出控制方式，提升龍門運動的同步性、平穩性與定位精度。

07

一鍵自動調參

獨特的一鍵自動調參功能，完成算法升級與場景擴展，適配龍門、多軸耦合、柔性負載等復雜場景，實現更快響應、更小穩態誤差與更強抗干擾能力，極大降低調試難度，大幅提升調試效率。

驅控一體運動控制器

驅控一體機系列產品定位于超高精度、模塊化、集成伺服驅動和運動控制一體化設備。采用多處理器異構架構，結合強大的伺服控制和運動控制算法，顯著提升運動系統性能，適用于半導體、激光加工等高精度、高實時性領域。它旨在滿足多軸運動控制需求高的設備制造商的需求。同時，其通用伺服驅動技術使系統設計者能夠控制各類主流電機或運動平臺。

SAC200高性能系列

核心定位：模塊化高性能多軸驅控一體化設備，專為半導體領域、激光加工等超精密應用打造。

核心能力：采用EtherCAT通訊協議，支持最高8個驅動軸，64個控制軸多核異構搭配自研伺服算法，實現200kHzPWM開關頻率、10kHz電流控制帶寬、響應性能行業領先。支持龍門算法、動態誤差補償、環網冗余等高級功能，滿足復雜精密運動需求。

典型應用：半導體設備、激光精密加工、高精度自動化裝配線。

獨立式運動控制器

SIC100通用型系列

EtherCAT運動控制器，其采用多核異構緊湊型設計，具有強大的參數整定算法和運動控制算法來最大限度地提高運動系統性能。同時具備出色的兼容性和拓展性，能使用分布式時鐘確保所有軸之間的同步精度優于0.1微秒，適配半導體領域、激光加工等高精度、高實時性領域。

核心定位：高性能EtherCAT主站控制器，專注于多軸同步與復雜軌跡規劃。

核心能力：多處理器架構，EtherCAT循環速率高達10kHz，軸間同步精度優于0.1微秒。支持最大64軸，兼容各類EtherCAT伺服驅動器與IO模塊。支持GL+腳本、G代碼混合編程及C#/C++/Python API，開發靈活高效。

典型應用：半導體后道處理、激光加工設備、多軸聯動自動化設備。

脈寬調制驅動器

脈寬調制驅動器是為滿足半導體裝備、精密儀器及高端自動化設備嚴苛運動控制要求而設計的EtherCAT高性能伺服驅動系統。提供單軸/雙軸/多軸等多形態模塊，支持寬電壓與寬電流規格，可靈活匹配不同負載場景。搭配格藍若精密多軸運動控制器，可構建高同步、高可靠的全鏈路運動控制系統，統一協調I/O、測量、激光等EtherCAT從站功能，滿足高端裝備極致性能需求。

SAD100超高性能系列

核心定位：EtherCAT總線脈寬調制驅動器，采用精細PWM技術，覆蓋多場景應用。

核心能力：實現10kHz電流控制帶寬、200kHz開關頻率。支持一鍵自調參，大幅縮短調試時間。集成STO安全轉矩關斷功能，硬件級強制關斷功率管，保障安全。

典型應用：半導體高端設備、激光加工、精密運動平臺。

LAD系列線性驅動器

格藍若精密LAD系列線性驅動器，是一類高性能AB類線性放大器，專為高精度運動控制場景設計，可實現高精度信號到線性動力的無偏差轉換，兼具高精度、低噪聲、強適配、高可靠等核心特性，是高端精密運動控制場景的核心驅動解決方案。產品廣泛應用于超高分辨率位移平臺、直線電機平臺、高慣性失配平臺，同時可完美匹配高精度檢測系統、光學器件制造、醫療設備等對運動控制精度、噪聲控制及電磁兼容性要求嚴苛的應用場景。

LAD100系列

核心特點

精準輸出：連續電流≥10A、峰值≥25A，電流紋波≤100uA，線性度<1‰。

低噪兼容：無PWM噪聲，滿足CE/CS等EMC標準，適合醫療、計量等敏感環境。

靈活控制：支持單相/兩相電流環，可控制兩個音圈電機，兼容三角形/星形連接。

展會邀約

03

攜以上重磅產品，格藍若精密以核心技術賦能半導體產業自主創新，期待在SEMICON China T4408展位與您相遇，共探高端裝備減振與運動控制前沿方案，攜手推動半導體產業鏈高質量發展！

時間：2026年3月25-27日

地點：上海新國際博覽中心

展位：T4館 · T4408

產品咨詢與現場對接：

鄭經理：13554340977

邢經理：17638591267（減振）

史經理：18271915651（運控）