如何給芯片“洗澡”？

提到國之重器，

你聯(lián)想到的是否都是

那些可以“上天入海”的

龐然大物？

然而今天，

小新要給大家講述的這件重器

卻無色無形、微如點滴。

它看上去“不起眼”，

卻是中國芯片產(chǎn)業(yè)不可或缺的重要組成。

芯片制造，竟然要“洗澡”！

芯片線路微細至3納米，

僅相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的兩三萬分之一。

一粒肉眼不可見的塵埃，

一絲微乎其微的雜質(zhì)，

都可能造成“山崩地裂”的危害，

直接損毀芯片架構(gòu)，

導(dǎo)致短路、漏電乃至整片晶圓報廢。

因此，在芯片制造的過程中，

往往需經(jīng)歷數(shù)百道清洗工序，

占據(jù)總工序的30%以上。

可以說，

清洗工序是決定芯片良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

那么，

到底應(yīng)該用什么來洗滌呢？

普通水？不行。

自來水里的離子、顆粒、細菌等，

每一樣都是

損壞芯片的“潛在兇手”。

給芯片“洗澡”必須用超純水——

沒有細菌、沒有顆粒、

沒有離子、沒有溶解氣體……

如果用四個字來形容

那便是“極致純凈”。

但是，光洗干凈還不夠，

無痕干燥同樣決定芯片成敗。

超純水清洗之后，

接下來就輪到

電子級異丙醇（IPA）登場了。

追求“極致純凈”，到底有多難？

極致純凈，

是電子級異丙醇最重要的特征。

為了衡量這種純凈度，

我們需要引入一個概念：

PPM（百萬分之一）。

如果說工業(yè)異丙醇的

最高質(zhì)檢量級PPM

相當(dāng)于在一個200升的浴缸水中

檢測出一滴墨水，

那么電子級異丙醇的

最高質(zhì)檢量級PPT（萬億分之一），

則要從一個體量約等于兩個未名湖的

湖泊中（約為20萬立方米）

找出那一滴墨水。

從PPM到PPT，

一個字母的差別，

精度要求陡增百萬倍，

方法體系、環(huán)境條件、

操作邏輯也需要跟著升級。

長期以來，

因為極高的技術(shù)壁壘，

這種核心“清洗液”的供給

都被國外企業(yè)牢牢把控。

不僅價格昂貴，

而且交貨期漫長，

周期長達數(shù)月，

更存在被“卡脖子”的斷供風(fēng)險。

這既是我國芯片產(chǎn)業(yè)

自主道路上的一大阻礙，

也是必須克服的挑戰(zhàn)。

打破壟斷！

中國石油五十年磨一“劍”

如今，

這一困擾我國芯片產(chǎn)業(yè)多年的重大難題

被中國石油錦州石化

依托五十載產(chǎn)業(yè)深耕

與迭代升級成功破解。

中國石油錦州石化生產(chǎn)的

G5級電子異丙醇，

作為芯片干燥脫水的關(guān)鍵溶劑，

能完美置換晶圓表面水分，

實現(xiàn)無水痕、無殘留的極致干燥，

且溫和無腐蝕，

完美適配7nm、14nm先進制程，

并可支撐更先進工藝節(jié)點。

純度要求達到99.9999%，

金屬雜質(zhì)含量控制在萬億分之一級別，

容不下任何一絲瑕疵，

成為當(dāng)前芯片清洗界可靠的“主力軍”。

早在1976年，

中國石油錦州石化

便建成了當(dāng)時亞洲最大、

國內(nèi)唯一的異丙醇生產(chǎn)基地。

以超六成的市場份額引領(lǐng)國內(nèi)行業(yè)發(fā)展，

并主導(dǎo)制定了異丙醇國家標(biāo)準(zhǔn)。

“十四五”規(guī)劃末期，

錦州石化G3/G5級異丙醇裝置建成投產(chǎn)，

成為國內(nèi)第一家實現(xiàn)

高端電子級異丙醇

規(guī)模化生產(chǎn)的央企。

作為國內(nèi)唯一擁有

專業(yè)異丙醇應(yīng)用技術(shù)研發(fā)隊伍的企業(yè)，

中國石油錦州石化實現(xiàn)了原料自給，

并擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)與研發(fā)核心技術(shù)。

尤其值得矚目的是，

這支專業(yè)異丙醇應(yīng)用技術(shù)研發(fā)隊伍

——電子級IPA生產(chǎn)團隊，

是一支平均年齡僅26歲的年輕團隊。

中國石油錦州石化將

最核心的裝置托付給了

這群剛走出校門的年輕人。

沒有經(jīng)驗可循，

便在建設(shè)中“摸爬滾打”；

沒有規(guī)范可依，

便在試生產(chǎn)中歸納沉淀。

短短幾年間，

他們與裝置共同成長，

淬煉成為支撐大國產(chǎn)業(yè)的中堅骨干。

如今，中國石油錦州石化生產(chǎn)的

G5級電子異丙醇

已實現(xiàn)穩(wěn)定供貨、出口海外，

關(guān)鍵指標(biāo)長期穩(wěn)定優(yōu)于國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，

在全球高端電子化學(xué)品市場

亮出了中國實力。

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責(zé)任編輯丨陳伊南

校對丨陳婷 程鏡睿

執(zhí)行主編丨張灝然

內(nèi)容來源丨中國石油