ASML總裁再談中國(guó)：沒(méi)有證據(jù)能證明中國(guó)突破EUV，中國(guó)已落后8年

前沿導(dǎo)讀

荷蘭《電訊報(bào)》記者就全球芯片產(chǎn)業(yè)問(wèn)題，采訪了ASML總裁克里斯托夫·富凱以及首席財(cái)務(wù)官羅杰·達(dá)森。

當(dāng)記者詢問(wèn)到如何看待中國(guó)發(fā)展以及出口管制對(duì)中國(guó)的影響時(shí)，富凱表示中國(guó)已經(jīng)8年沒(méi)有獲得我們的EUV光刻機(jī)了，因此中國(guó)的技術(shù)已經(jīng)落后全球8年的時(shí)間。

就EUV技術(shù)來(lái)說(shuō)，我們沒(méi)有看到任何證據(jù)能夠證明中國(guó)已經(jīng)在突破封鎖的邊緣，這是一個(gè)十年以上的大工程，而不是兩三年的小項(xiàng)目。不過(guò)中國(guó)也在取得一些技術(shù)成果，并且中國(guó)還在持續(xù)投入巨資研發(fā)設(shè)備，這必然會(huì)影響全球芯片產(chǎn)業(yè)的格局。

參考資料：
公眾號(hào)：一網(wǎng)荷蘭【荷蘭】荷蘭阿斯麥總裁和財(cái)務(wù)總監(jiān)談中國(guó)

出口管制

美國(guó)在2018年啟動(dòng)了針對(duì)中興和華為的制裁措施，也就是在這一年，中芯國(guó)際與ASML簽訂采購(gòu)合約，以1.2億美元的價(jià)格采購(gòu)中國(guó)大陸第一臺(tái)EUV光刻機(jī)。

參考資料：
國(guó)內(nèi)首臺(tái)：中芯國(guó)際1.2億美元購(gòu)入EUV光刻機(jī)
https://www.guancha.cn/economy/2018_05_17_457038.shtml

在此之前，中芯國(guó)際一直都是ASML在中國(guó)大陸地區(qū)的重要合作商。

雙方的合作開(kāi)始于2002年，中芯國(guó)際采購(gòu)了多臺(tái)來(lái)自于ASML的i線和DUV光刻機(jī)。根據(jù)ASML官方新聞顯示，為支持雙方合作，ASML在上海附近建設(shè)有辦事處和備件倉(cāng)庫(kù)，為中芯國(guó)際提供可持續(xù)支持的售后服務(wù)。

然后在2018年，雙方又簽訂了批量采購(gòu)DUV光刻機(jī)的協(xié)議。原定的有效期截止到2020年12月31日，但隨后又將合作協(xié)議延長(zhǎng)，從2021年2月延長(zhǎng)至2021年12月。

根據(jù)ASML的官網(wǎng)新聞顯示，2020年至2021年，雙方的采購(gòu)訂單金額已經(jīng)達(dá)到了12億美元。

連續(xù)多年的合作，已經(jīng)表明了芯片產(chǎn)業(yè)全球化的發(fā)展格局，也說(shuō)明了ASML與中國(guó)企業(yè)的合作是雙贏的局面。既可以解決中國(guó)本土芯片的制造問(wèn)題，又可以通過(guò)向中國(guó)企業(yè)銷售設(shè)備，為ASML帶來(lái)持續(xù)的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)。

中芯國(guó)際在2018年采購(gòu)的EUV光刻機(jī)，美國(guó)對(duì)其進(jìn)行了圍追堵截，不斷敦促ASML取消與中國(guó)企業(yè)的合作。但是時(shí)任ASML CEO的彼得·溫寧克認(rèn)為ASML地處中立的荷蘭，服務(wù)于全球企業(yè)，從不涉足政治，美國(guó)沒(méi)理由干涉。

隨著中美科技戰(zhàn)的持續(xù)加深，美國(guó)政府對(duì)荷蘭政府施壓，迫使荷蘭政府強(qiáng)制性撤銷了ASML EUV光刻機(jī)的對(duì)華出口許可，攔截了這臺(tái)本屬于中國(guó)企業(yè)的EUV光刻機(jī)。

荷蘭《新鹿特丹商報(bào)》記者馬克·海金克曾經(jīng)深度采訪了ASML官方3年時(shí)間，據(jù)海金克在個(gè)人作品中披露稱，溫寧克多次游說(shuō)美國(guó)政府勸其放松對(duì)中國(guó)的出口管制，中國(guó)的消費(fèi)市場(chǎng)龐大、芯片產(chǎn)業(yè)彭博發(fā)展、對(duì)于先進(jìn)設(shè)備的需求量大，而且中國(guó)企業(yè)也愿意拿出大量資源去采購(gòu)成熟的先進(jìn)設(shè)備。

美國(guó)單方面限制ASML與中國(guó)合作，這必然會(huì)讓中國(guó)企業(yè)手里的采購(gòu)資金流入本土企業(yè)手中，上下游產(chǎn)業(yè)鏈抱團(tuán)取暖，從而加速自主光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度。

平衡點(diǎn)

ASML首席財(cái)務(wù)官羅杰·達(dá)森對(duì)此分析稱，出口管制的核心問(wèn)題就是美國(guó)打算將中美之間的技術(shù)差距拉到多大，美國(guó)的部分政客認(rèn)為應(yīng)該讓中國(guó)繼續(xù)依賴西方國(guó)家的技術(shù)，但是需要通過(guò)制裁的方式將中國(guó)技術(shù)壓制在一個(gè)較為落后的節(jié)點(diǎn)上。

中美之間的芯片技術(shù)需要存在差距，但如果這個(gè)差距被拉的過(guò)大，就會(huì)讓中國(guó)企業(yè)去研發(fā)自主設(shè)備，從而逐步放棄西方國(guó)家的進(jìn)口產(chǎn)品。

前段時(shí)間路透社消息稱，中國(guó)已經(jīng)完成了EUV光刻原型機(jī)，但是其通篇內(nèi)容都是以所謂的“知情人士透露”為核心，并沒(méi)有權(quán)威的直接性證據(jù)來(lái)證明中國(guó)在自研EUV光刻機(jī)領(lǐng)域的最新進(jìn)展。

針對(duì)中國(guó)自研EUV光刻機(jī)這件事，ASML總裁富凱在此前的采訪中表示已經(jīng)知曉，并且由于中國(guó)一直拿不到先進(jìn)設(shè)備，所以中國(guó)企業(yè)嘗試自主研發(fā)EUV這件事是合情合理的，但是富凱對(duì)于中國(guó)自研設(shè)備進(jìn)入量產(chǎn)商用階段持保守態(tài)度。

ASML的第一臺(tái)EUV原型機(jī)發(fā)布于2006年，造出來(lái)之后便交付給美國(guó)紐約州立大學(xué)納米科學(xué)與工程學(xué)院進(jìn)行深入研究。一直到2018年，ASML才制造出了可以量產(chǎn)，并且可以制造先進(jìn)芯片的光刻機(jī)設(shè)備。2019年，由EUV光刻機(jī)制造的先進(jìn)芯片正式在市場(chǎng)上開(kāi)售。

原型機(jī)有了，下一步就是要解決制造芯片的良品率以及光刻機(jī)的量產(chǎn)問(wèn)題。在富凱看來(lái)，解決這兩點(diǎn)問(wèn)題是為期10年的技術(shù)項(xiàng)目，在短短兩三年內(nèi)是無(wú)法做到的。不過(guò)在其他技術(shù)門(mén)檻較低的領(lǐng)域，例如干式ArF光刻機(jī)，中國(guó)已經(jīng)取得了階段性成果。