荷蘭媒體：中國囤的光刻機用5-10年不是問題，我們還需向下扎根

美國把對中國光刻機的限制拉滿，從最頂尖的EUV到所有DUV浸沒式全給禁了，這段時間外界都在猜，中國芯片產業到底接不接得??？荷蘭當地的科技媒體最早捅出一個料，說咱們早在多年前就埋下伏筆，囤的光刻機就算完全斷買，撐個五到十年一點問題都沒有。

這個說法可不是空口造謠，看ASML自己的公開財報就能實錘。中國這些年買ASML設備的力度，從數據就能直觀看出來。2021年中國大陸占ASML總銷量16%，2022年14%，2023年開始占比一路往上走。到2023年底，ASML賣給中國的光刻機加熱度量測設備已經差不多1400臺。

2023到2024這兩年中國企業買的光刻機，比之前五年加起來還多。2024年中國直接成了ASML全球第一大客戶，占了總出貨量的41%。2025年買走的光刻機金額更是達到80.1億歐元，占ASML所有光刻機銷量的33%。

ASML首席財務官早就明說，之前中國企業訂的設備都陸續交付完成，2026年中國市場占比會回落到20%左右。現實走勢也跟預判的一模一樣，2026年一季度，中國大陸市場占比直接從去年四季度的超三分之一掉到19%，進口金額一個季度就銳減了約120億元。韓國順勢超越中國，成了ASML當前全球最大市場，一年前還是最大金主，轉頭就掉到了第三。

很多人會問，現在最先進的EUV買不到，就靠浸潤式DUV，能造出合格的好芯片嗎？其實業內都清楚，EUV決定芯片制程的天花板，DUV能穩住產業的基本盤。EUV這條路暫時走不通，沒必要硬撞南墻，換個思路先穩住也沒什么不對。

荷蘭媒體提到，咱們手里攢了這么多浸潤式DUV，用好多重曝光技術，其實就能造出5nm甚至更先進制程的芯片。雖說成本比EUV直接做要高，良率也差一點，但至少中高端芯片不會斷供。就算以后買不到新進口設備，靠之前囤的也能繼續生產，售后被卡脖子，咱們就自己建技術團隊維護，夠用了。

這根本不是恐慌性搶貨，是一場提前好幾年就規劃好的精準戰略布局。手里握著這些設備，未來五到十年就算徹底斷供，晶圓廠能正常運轉，芯片能正常生產，剛好給國產光刻機留足了成長緩沖期，慢慢從28nm往更先進制程突破。

現在國產光刻機的進度，比很多網友想的要快得多，多點開花的局面已經形成。上海微電子的28nm浸沒式光刻機已經進入工藝驗證階段，2026年4月浙江大學研發出萬通道3D納米激光直寫光刻機，測量精度可達亞30納米。納米壓印領域，國內設備已經完成10nm級自主交付。

核心零部件環節也不斷傳來好消息，華卓精科的磁懸浮雙工件臺、科益虹源的193納米準分子激光器，都拿到了關鍵突破。薄膜沉積、蝕刻、激光器這類輔助環節，國產設備的覆蓋率也在逐步提升。照這個勢頭走下去，再給中國幾年時間，就能逐步實現全鏈條自主。

EUV領域也不是毫無進展，去年年底深圳已經組裝出原型機，跑通了初步試驗。國內某光學研究所自主研發的EUV光源模擬器，11億元的產線已經投入試運行，雖然和ASML的商用標準還有差距，但足夠支撐原型機通過關鍵測試。還有國內廠商從國際市場引進頂尖研發人員，搭起了完整的投影物鏡研發團隊，雖說離量產還遠，關鍵的一步已經邁出去了。

美國想從買、用、修三個環節徹底封堵中國，可封鎖越狠，反噬來得越快。歐洲現在已經有人提議，要是美國繼續加征關稅，就限制ASML向美國出口光刻機。更何況咱們手里握著稀土這張王牌，ASML的光刻機離不開稀土，全球九成的稀土精煉能力都在中國，誰也離不開誰。

咱們現在其實還處在黎明前的黑暗，這段時間必須沉下心往下扎根。囤夠五到十年的光刻機，說白了就是給自己留了至少五年的緩沖期，也說明五年內實現獨立浸潤式DUV光刻機的量產普及，難度確實不小。光刻機哪怕是一個不起眼的小零件，都牽扯到多國頂尖技術，比如ASML用的頂級蔡司鏡片，就有美國技術參與。

高精度零部件領域，國產設備和國際頂尖水平還有十到二十年的差距，咱們現在靠自己勉強能搞定90納米制程，離世界最先進水平還有不小距離。EUV就更不用說了，人家已經能量產7納米以下芯片，咱們連14納米的完全自主化都還沒搞定。

美國把制裁加碼到不講理的程度，反倒把國產替代逼到了極限，按照現在的研發速度，五到十年內國產光刻機肯定會越來越爭氣。ASML現任CEO接受彭博社專訪時都坦言，應該適度向中國輸出技術，防止中國自主研發形成競爭力，中國這么大的國家，不可能接受被卡脖子，肯定會想辦法突破。

西方過去一直看低中國的研發速度，最早說中國就算拿到圖紙也造不出來，后來改口說二十年追不上，再后來改成十五年，現在都覺得中國十年就能造出EUV，這本身就是西方在重新評估中國芯片的突圍速度。

科技產業突破，十年本來就是一個完整的產業周期。第一個三年是從無到有做原理突破，第二個三年啃核心零部件的硬骨頭，最后四年做整體設備的集成迭代，磨產品良率，哪一步都省不了時間和投入。

這個過程注定漫長又艱難，現在整個行業都在咬著牙往前走，囤貨穩產能，攻技術缺口，補全自主產業鏈的各個環節。等到哪天咱們真的實現EUV光刻機量產，整個全球半導體格局都會迎來大轉變。

在那一天到來之前，就是一段沉下心扎根的日子，付出很多努力暫時沒看到結果沒關系，只要全產業鏈齊心往一處使勁，中國半導體突圍的那天，早晚都會來。

參考資料：人民日報 中國半導體產業自主創新觀察