廣東
隨著AI帶來的全球算力需求爆發，我國半導體設備行業進入發展黃金期，刻蝕機作為半導體制造中的核心設備之一，其技術水平直接決定了芯片的精度、性能和功耗。
中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼總經理尹志堯介紹：“我們首創了甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術，后來國際三大設備公司都按這個方向做，現在100%的CCP刻蝕機都在用這個方法。”
尹志堯 中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼總經理
被譽為“中國刻蝕機之父”的中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼總經理尹志堯，做客央視財經《對話》欄目，以《“刻”出來的長期主義》為題，暢談歸國創業、打破國際壟斷、拓展泛半導體領域的奮斗歷程，分享對產業競爭與發展藍圖的深度思考。
60歲歸國，尹志堯放棄美國百萬年薪與頂尖公司的高管職位，帶著數百項專利的技術積累毅然回國。他的創業之路從一張白紙起步：“回國是非常敏感的一件事情，我們讓所有回國的人簽字畫押，不許帶任何文件，計算機也是新的，完全從零開始。”
但這份“從一張白紙開始”的底氣，來自他深耕行業數十年的技術沉淀：“在美國做了20年，我發明的東西都是自己想出來的，過去能想出來，現在就能想出更好的，我們絕不重復國外的技術，一定要有創新。”技術創新、產品差異化、知識產權保護，成為中微創業初期堅守的三大核心原則。
從零起步的自主創新，中微用三年時間打破了國外刻蝕機領域的長期壟斷。尹志堯介紹：“我們首創了甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術，后來國際三大設備公司都按這個方向做，現在100%的CCP刻蝕機都在用這個方法。”
此外，中微首創的雙臺機設計，實現了單臺設備同時刻蝕兩片硅片，材料節省30%以上，且成本更低、性能更穩定。2007年，中微就推出了首臺雙反應臺國產刻蝕設備，而這份突破的背后，離不開國產半導體產業的“雙向奔赴”。
尹志堯與張汝京接受采訪
尹志堯回憶創業初期的支持：“還沒決定回來的時候，我就問張汝京博士，如果我回國做設備，你支持嗎？”中芯國際創始人、興華芯創始人張汝京表示：“我一定支持。”
面對國產設備的試錯風險，張汝京帶頭“吃螃蟹”：“試新的設備一定會有風險，這個時間成本我們來負責。”
正是這份包容與信任，讓中微設備快速完成驗證迭代，尹志堯透露：“到現在為止，中芯國際的設備至少800臺來自中微。”
尹志堯在節目中呼吁更多下游客戶支持國產設備：“希望國內客戶能給設備公司更多機會。”張汝京也表示：“如果沒有人使用，設備永遠不會進步。”
從刻蝕設備到泛半導體領域，中微的長期主義持續拓展新邊界。2023年12月，中微決定進軍大平板顯示設備領域——這一領域17種核心工藝設備全部依賴進口，而全球70%的OLED生產線都建在中國，自主可控迫在眉睫。
尹志堯坦言：“按行業經驗，開發一臺150噸重、兩層半樓高的超大平板設備，至少需要3到5年，甚至可能7年。但中微團隊用12個月就把設備做好并實現運轉，18個月便運抵生產線，兩年內實現核準投產。我們現在有能力做最先進的設備。”
從技術回流到身份回歸，82歲的尹志堯用了22年時間，將一家初創公司打造成市值超2000億元的行業標桿。面對行業沉浮，他始終堅信，半導體設備是產業的“底座”，需要長期投入與開放競爭。
來源：央視財經
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