德國蔡司SMT部門公開表態說DUV比EUV重要,這句話放在今天的國際半導體格局下,信息量大到炸裂。
表面上看,蔡司在陳述一個技術事實;但稍微想深一層,這是歐洲核心供應商在對美國的制裁策略表達不滿。
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先說技術層面。全球95%的芯片由DUV光刻機制造,哪怕是最先進的3nm、2nm芯片,其中大多數IC關鍵層依然要回到DUV工藝上完成。EUV只負責其中最精細的幾層圖案化,剩下的"粗活"全交給DUV。
打個比方,EUV是做腦外科手術的手術刀,而DUV是支撐整個醫院運轉的基礎設施——沒有后者,前者毫無意義。
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蔡司為什么要在這個時間節點站出來說這番話?美國的制裁重心從一開始就搞偏了,而這個偏差正在反噬整個西方半導體產業鏈,蔡司作為鏈條上最隱蔽但也最關鍵的一環,已經感受到了切膚之痛。
回顧一下時間線。2018年中芯國際花1.5億美元訂購ASML的EUV光刻機,這筆錢相當于中芯當年全年凈利潤。
隨后美國施壓荷蘭政府撤銷出口許可,這臺設備至今沒能交付。美國的邏輯很清楚:掐斷EUV,就等于鎖死中國進入先進制程的大門。
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但美國忽略了一件事——或者說,他們的決策層根本沒搞懂半導體產業的需求結構。全球芯片市場不是只有手機SoC和AI加速器,那只是金字塔最頂端的一小撮。
塔身和塔基是什么?是汽車里的功率模塊、傳感器、MCU,是工廠里的PLC和變頻器芯片,是你家空調、冰箱、洗衣機里的主控IC。這些東西全部用成熟制程芯片,28nm、40nm、65nm、甚至180nm。
這些芯片看著不起眼,但全球需求量是先進芯片的幾十倍。而且它們有一個非常重要的特性:一旦通過車規級或工業級認證,下游客戶的切換成本極高。
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一顆車規級MCU從設計驗證到量產上車,周期通常在兩到三年以上。這意味著,誰先占了坑位,后來者想要搶回去,難度不是一般的大。
在EUV被封鎖的窗口期,中國企業做了一件極其聰明的事:2022年到2023年間瘋狂囤積ASML的DUV光刻機。那兩年ASML的財報清楚地顯示,中國大陸客戶的訂單占比一路飆升,巔峰時接近總營收的一半。中國企業的邏輯非常務實——你不讓我做7nm以下的先進芯片,行,那我就用DUV把成熟芯片的產能做到全球第一。
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這個策略現在已經初見成效。根據美國半導體行業協會(SIA)的數據,中國大陸地區在28nm及以上成熟芯片的全球產能占比已經達到33%。
中芯國際、華虹集團、合肥晶合、長鑫存儲等企業這幾年幾乎同步在擴產,據不完全統計,2022年至2025年間中國大陸有超過30座晶圓廠在建設或產能爬坡中,絕大部分瞄準的就是成熟制程。
美國制裁政策最大的失誤,不是封鎖EUV本身,而是嚴重低估了"逼迫對手做大塔基"這一后果的戰略代價。
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先進芯片的利潤高,但成熟芯片的總市場規模更大、應用場景更廣、供應鏈滲透更深。一旦中國在成熟芯片領域形成了全球性的產能優勢和價格優勢,這種格局想要逆轉幾乎不可能。
這里面有一個很多人沒注意到的深層博弈。成熟芯片領域一旦形成產能過剩,必然引發價格戰。
而中國企業在政府補貼、土地優惠、稅收減免等政策的支持下,打價格戰的能力遠超歐美日韓同行。到那個時候,不是中國芯片進不了國際市場的問題,而是國際客戶為了控制成本會主動選擇中國芯片的問題。這跟當年光伏產業的劇本何其相似
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再說蔡司的處境。蔡司是全球唯一能制造符合光刻機要求的高精度鏡頭組件的企業,DUV和EUV的鏡頭它都做。
但DUV設備的全球存量遠大于EUV,維護、升級、鏡頭更換的持續性收入才是蔡司SMT部門的利潤基本盤。中國市場是全球DUV設備增量最大的市場——蔡司當然不希望DUV也被卷入制裁。
從蔡司公開強調"DUV比EUV重要"這個表態本身,我讀出了一層言外之意:歐洲企業對美國制裁政策的不滿已經從私下游說走向了公開表態。
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這不是蔡司一家的態度,ASML前CEO溫寧克和現任CEO富凱都在不同場合反復說過,過度限制對華出口只會"把市場拱手讓給未來的競爭對手"。這句話翻譯過來就是——你美國人把中國逼急了,中國自己搞出來了,我們的市場就永遠丟了。
光刻機產業里還有一個容易被忽略的技術細節:浸潤式DUV光刻機的核心創新來自前臺積電工程師林本堅。
他在干式光刻機接近物理極限的時候,提出在鏡頭與晶圓之間加入高純度水來實現光源折射,將分辨率提升至40nm以下。這項技術本質上是對光學原理的巧妙利用,而實現這一方案的關鍵硬件——鏡頭——就出自蔡司之手。
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現在國產光刻機要突破浸潤式設備的瓶頸,核心障礙有兩個:一是光源發射器,二是蔡司級別的精密鏡頭。上海微電子(SMEE)目前量產設備的精度還停留在90nm級別,距離浸潤式ArF光刻機的水平仍有明顯差距。
但如果從整個產業鏈來看,中國并不需要在短期內完全替代ASML,只要手中已有的DUV設備能持續高效運轉,成熟芯片的產能就有保障。
我想說一個可能不太中聽但很現實的判斷:美國的制裁,本質上是在用短期的技術封鎖換取長期的市場流失。
封鎖EUV確實拖慢了中國在先進制程上的進度,但代價是把中國這個全球增長最快的半導體市場推向了自主化的不歸路,同時在成熟芯片領域催生出了一個西方難以應對的超級產能競爭者。
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更令人值得關注的是,中國的芯片設計企業正在用Chiplet先進封裝技術,探索用成熟制程芯片拼出接近先進制程的系統級性能。
這條技術路線雖然還不成熟,但一旦跑通,意味著即便沒有EUV,中國企業也能在部分高性能計算場景中具備競爭力。這將徹底顛覆美國制裁的底層邏輯。
站在2026年的時間點來看,這場半導體博弈的中間記分牌已經很清楚了:美國贏了先進制程的短期封鎖,但中國正在贏下成熟芯片的長期市場。
而蔡司的那句"DUV比EUV重要",既是對技術現實的準確描述,也是這場博弈中一記意味深長的旁白。這盤棋遠沒有結束,但局勢的演變方向,恐怕已經不是美國最初設想的那個劇本了。
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