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"非常、非常昂貴"——這六個字,是臺積電副共同營運長張曉強對阿斯麥最新High-NA EUV光刻機的評價。話不長,分量卻足。消息一出,阿斯麥的股價當天直接被打下來,盤中一度重挫高達5.5%,最終以微跌約1%作收。
事情發生在4月22日的臺積電2026年北美技術論壇。這本是臺積電一年一度對外亮底牌的場合,重頭戲是每年為客戶端應用推出一款新節點,每兩年推出一款面向高負載AI和高性能計算的新節點這套全新路線圖。
但張曉強一句"暫時不打算用",把鏡頭硬生生拉到了那臺標價3.5億歐元、折合人民幣近30億的龐然大物身上。一臺機器抵得上兩架波音787-8客機,連全球營收最大的晶圓廠都直搖頭,那剩下還有誰愿意掏錢?
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阿斯麥的High-NA EUV,行業里把它叫"下一代光刻神器",單臺定價高達3.5億歐元,折合近4億美元,相較現有量產EUV機型成本實現翻倍。問題在于,這種價格放在商業賬本上算不過來。
張曉強在論壇上把話說得很清楚。臺積電對于現有的標準數值孔徑EUV設備感到滿意,其研發團隊會繼續尋找不依賴High-NA EUV設備來推動技術微縮的方法。直至2029年的全系列規劃節點,涵蓋A12、A13等核心制程,均不納入High-NA EUV設備的應用計劃。
這背后是一筆實打實的成本賬。臺積電已將中長期毛利率目標鎖定至56%以上,相較于過往50%的基準目標形成顯著抬升。
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毛利率數個百分點的波動,將直接轉化為每年50億至100億美元的利潤差額。30億一臺的機器扔進產線,折舊、維護、配套要重新算,再疊加上千道工序的良率風險,誰也不敢輕易點頭。
更尷尬的是潛在客戶的稀少。這臺機器全球累計裝機量不過5臺左右。三星電子于2025年3月率先安裝首臺High-NA EUV光刻機用于1.4納米芯片生產;英特爾則押寶14A工藝,靠它從零設計代工流程。
但英特爾正處于制程重整階段,多座工廠進度延遲;三星的先進制程良率問題持續受到關注。三家潛在買家里,跑量最大的臺積電直接表態五年內不考慮,剩下兩家自顧不暇。
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阿斯麥給Low-NA EUV定的產能目標是2026年的產量至少達到60臺,并在2027年按客戶需求支撐將出貨量提升至80臺。這條線靠AI帶動的存儲和邏輯芯片需求撐得住,但High-NA EUV這條新產品線,眼下連驗證客戶都湊不齊,研發投入要多久才能回本,沒人敢拍胸脯。
阿斯麥的另一頭,是被堵死的中國大陸市場。
2025年10月底,荷蘭把DUV設備的出口管制門檻進一步收緊。新規將DUV設備的出口限制從7納米收緊至14納米。ASML的1970i、1980i等主力機型全部被列入管制范圍,審批周期也延長至九十天。
再加上美方主導推動的MATCH法案,該提案的具體限制范圍已從最尖端的極紫外光刻機延伸至應用廣泛的浸潤式深紫外光刻設備,連已經賣出去的設備維護服務,都得走合規審查。
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效果立竿見影。第一季度,面向中國的系統銷售額占阿斯麥總銷售額的比例降至19%,而去年第四季度為36%。韓國占比則從22%升至45%。存儲芯片廠商成了新的金主,但中國市場原本貢獻的份額,已經被硬生生抹掉將近一半。
這種結構性收縮,不是簡單的客戶切換。中國大陸是全球最大的芯片消費市場,從成熟制程到高端工藝都有持續的設備引進需求。在正常的商業邏輯下,這本應是阿斯麥最穩定的票倉。政治賬壓過商業賬之后,一個大客戶就這么從訂單本上消失了。
阿斯麥CEO自己也看得清楚。在公開場合,他指出,假如把中國逼入困境,中國就會完全脫離西方技術,等到中國完成自主研究開發,可能要向我們反向出口了。這話說得直白,但點到了要害。
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更微妙的是供應鏈的反向卡位。中方稀土新規可能導致阿斯麥出現為期數周的出貨延遲。
阿斯麥以及美國應用材料公司所銷售的半導體制造機器,尤其依賴稀土,因為這些設備包含極其精密的激光器、磁鐵和其他使用稀土元素的部件。一手賣不進中國,一手關鍵原料的合規審查也卡在中國,這種兩頭受擠的處境,是阿斯麥過去幾十年沒遇到過的。
封鎖壓下來這幾年,中國大陸的光刻機產業鏈沒有停下來。
上海微電子的進展跑在最前面。2024年,上海微電子推出的28納米光刻機良率達到90%。配套環節也在同步推進——北京科益虹源的曝光光源、華卓精科的雙工件臺、長春光機所的鏡頭、寧波南大光電的光刻膠,這些過去被認為"只能靠進口"的關鍵部件,已經在同一條產線里跑通了驗證閉環。
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光源這一環更是撕開了一道口子。2025年3月,中國科學院公開了全固態深紫外激光技術的研究成果。這套方案能直接發出193納米的相干光,和阿斯麥、佳能、尼康用的氟化氬準分子激光路線完全是兩套思路。
固態設計的好處很直觀——體積更小、能耗更低,對稀有氣體的依賴也大幅減少,理論上具備支撐3納米制程的潛力。
整機層面同樣有動作。SMEE公司提交了EUV相關技術專利申請,計劃于2026年實現量產,目標直指打破高端光刻機的壟斷格局。證券機構的判斷也在跟進,中國向全世界宣布將于2026年量產光刻機這個信號,讓產業界明顯感覺到節奏在變。
這些進展集中在DUV和EUV的不同環節,整體水平和阿斯麥還有明顯代差,方向卻是明確的。封鎖制造出的供給真空,反而把國產鏈條的整合速度往前推了一大截。從單點突破走向系統集成,這條路一旦走通,市場版圖就要重新畫。
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光刻機這個行業的邏輯其實很簡單——技術再先進,也得有人付錢才能算數。阿斯麥如今面對的,是一個被自己親手參與塑造的困局。
最貴的機器賣給了買不起的人,最想買的人又被擋在門外。當政治賬長期壓著商業賬走,再硬的技術壁壘也扛不住時間的消磨。等到中國大陸的國產替代真正補上空缺的那一天,阿斯麥丟掉的就不只是幾年的訂單,而是一個完整產業周期的話語權。
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