廣東
大皖新聞訊 記者5月21日獲悉，安徽北方微電子研究院集團實現重大科創突破，成功攻克MEMS-OCS陣列微鏡芯片全套量產制造工藝，打破國外技術壟斷，補齊國內高端光通信芯片制造短板，有力推動核心器件國產化替代進程。
據悉，MEMS-OCS陣列微鏡芯片是光電路交換的核心器件，主要用于光信號通道靈活切換，廣泛應用于數據中心、全光交換網絡等核心場景。其微納集成制造工藝技術壁壘極高，是制約我國高端光通信產業自主發展的瓶頸。
立足數字經濟與算力網絡產業發展需求，北方微電子院重點攻堅256端口、1024端口高端陣列微鏡芯片研發，成功突破精密刻蝕、低應力薄膜生長、高精度鍵合、高反射鏡面制備等多項核心工藝，建立起完全自主可控的技術和工藝體系。
此次量產的自研芯片具備響應快、精度高、損耗低、穩定性好等優勢，性能達到行業領先水平，全方位滿足全光網絡建設需求。
作為國內MEMS傳感器產業龍頭企業，北方微電子院深耕微納制造領域，除光通信芯片外，在高端慣性器件、精密測量組件等領域持續創新，形成了系統化、多元化的高端芯片技術布局。
目前，該套微納制造工藝已完成定型優化，正式進入迭代量產階段。下一步，北方微電子院將持續深耕科創領域，深化核心技術攻關與成果轉化，完善上下游產業鏈配套，打造高端MEMS芯片研產基地，賦能算力基建、高端裝備等戰略產業，助力蚌埠加快建設“中國傳感谷”。
大皖新聞記者 李勇 通訊員 彭雪媛
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